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# フォトレジストの次世代品
2009/12/13 10:21
 日本の化学メーカーが、半導体製造に不可欠な

    フォトレジストの次世代品

を相次いで商品化する。

 世界最大手のJSRが線幅20ナノ(ナノは10億分の1)メートル台の超微細加工に対応した製品を開発している。
 2位、3位の東京応化工業信越化学工業も20ナノ台の加工に対応した製品のサンプル出荷を2010年にも始めることが予定されている。

 日本企業は半導体では海外勢に押されているが、素材分野では高いシェアを維持している。
   

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