大日本スクリーン製造（7735）は24日、１時間当たりの処理能力を従来の 2.7倍の800枚に高めた半導体洗浄装置を12月に発売すると発表した。
　回路線幅が30ナノ（ナノは10億分の１）メートル台以降の最先端半導体にも対応可能というと報じられた。→ ranking
　　　
　　

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